Направление МЭМС

ММГ

Микромеханический гироскоп ДМГ-1

Разработка технологии и изготовление кремниевых чувствительных элементов микромеханического кольцевого гироскопа и микромеханического акселерометра — Физико-Технологический Институт (ФТИАН) Российской академии наук (г. Москва).

Подробнее

Назначение

Микромеханический гироскоп ДМГ-1 предназначен для использования в качестве датчика угловой скорости в автомобилестроении, робототехнике, спортивных тренажерах, медицинском оборудовании, системах виртуальной реальности, бытовой технике, детских игрушках.

Преимущества

— Микромеханический гироскоп состоит из кремниевого датчика и блока электроники.

Технические характеристики

Диапазон измерения ±100°/с
Погрешность масштабного коэффициента в диапазоне температур ± 3,0 %
Нелинейность масштабного коэффициента ± 1,0 %
Изменение постоянной составляющей в диапазоне температур ± 2,0°/с
Постоянная составляющая дрейфа ± 0,3°/с
Случайная составляющая дрейфа 0,1°/с
Напряжение питания 5 В
Условия эксплуатации – 40°С + 85°С
Габаритные размеры:
- датчика ;26 х 12 мм
- гироскопа 35 х 35 х 30 мм
Масса гироскопа 40 г
БИНС-ММ

Микромеханическая бесплатформенная инерциальная навигационная система БИНС-ММ

Система предназначена для определения и выдачи координат, линейных скоростей, углов ориентации и составляющих векторов линейного ускорения и угловой скорости.

Подробнее

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

— Резервная навигационная система летательных аппаратов;
— Системы навигации автомобилей;
— Системы управления и навигации наземных аппаратов и роботов.

ПРЕИМУЩЕСТВА

— Система построена на микромеханических инерциальных датчиках;
— Интегрируется со спутниковой навигационной системой, датчиком магнитного курса и баровысотомером;
— Применяемые оригинальные методики и алгоритмы калибровки и компенсации погрешностей, обеспечивают высокие выходные параметры системы;
— Малые габариты.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

  по угловой скорости по ускорению
Входной диапазон 400 °/с < 10 g
Погрешности масштабного коэффициента 0,20 % 0,20 %
Нестабильность нулевого сигнала:
- в запуске
- от запуска к запуску

0,005 °/с
0,050 °/с

0,002 g
0,020 g
Режим работы системы БИНС/СНС автономная БИНС за 3 мин.
Погрешность определения:
- координат 30,0 м 200 м
- скоростей 0,3 м/с 3,0 м/с
- углов ориентации 0,5° 1,0°
- путевого угла (курс) 0,4° 2,0°
Питание 27 В  
Интерфейс RS-422, RS-232  
Габаритные размеры 85 х 85 х 100 мм  
Масса 0,6 кг  
Рабочий диапазон температур - 40 + 60°С  
А-101

Микромеханический акселерометр А-101

Разработка технологии и изготовление кремниевых чувствительных элементов микромеханического кольцевого гироскопа и микромеханического акселерометра – Физико-Технологический Институт (ФТИАН) Российской академии наук (г. Москва).

Подробнее

НАЗНАЧЕНИЕ

Микромеханический акселерометр А-101 предназначен для измерения линейного ускорения в резервных системах навигации самолетов и вертолетов, в системах управления беспилотными летательными аппаратами и роботами. Акселерометр состоит из объединенных в одном корпусе по гибридно-пленочной технологии: чувствительного элемента из монокристалического кремния и электроники обработки выходного сигнала в виде специальной микросхемы.

ОСОБЕННОСТИ

- Чувствительный элемент изготовлен из кремния с помощью микромеханических технологий;

- Выходной сигнал - аналоговый;

- Малые габариты;

- Встроенный термодатчик;

- Возможность алгоритмической компенсации погрешностей;

-  Высокая надежность в условиях больших механических воздействий.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Входной диапазон, g ± 12 g
Точность установки нулевого сигнала 50 mg
Стабильность нулевого сигнала за 48 часов 0,5 mg
Нестабильность нулевого сигнала от запуска к запуску 1,0 mg
Изменение нулевого сигнала от температуры (0,5 - 1,0) mg/C
Напряжение питания 5 В
Условия эксплуатации – 40°С ….+85°С
Габаритные размеры 21,9 x 19,4 x 19 мм
Масса 6 г